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用SPM探针直接对试件进行雕刻加工
发布时间:2016-08-30 点击率:656
原子力显微镜(AFM)的探针尖一般是用高硬度材料(如金刚石或Si3N4材料)制成,因此可以用探针尖对试件表面直接进行刻划加工,令针尖按微结构要求的形状尺寸进行扫描,通过准确控制针尖的的作用力来控制刻划深度,即可获得具有精确形状要求的微小图形结构。AFM还可以进行精确的在线测量,以保证刻划加工件的精度。
产品展示
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